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自动配气系统主要用于对气体的质量流量进行精密控制,配置出满足需要的不同组份浓度的各种标准气体。标准气体配气的方法包括称重法、分压法、静态容量法、流量比混合法、渗透法、扩散法、体积比法等。该自动配气系统采用流量比混合法,是一种动态配气法,通过严格控制一定比例的组份气体,并加以混合而制定标准气体。与瓶装标准气相比,使用该方法能够在同一配气系统上,可以配置出满足需要的不同组份浓度的各种标准气,配制的目标组分标准气体浓度可达10-9级且连续可调;可稀释范围宽,可以达到1/2000;系统不受环境温度与压力变化影 , 可以适用于配制高、低浓度的多种目标组分标准气体,甚至包括爆炸性气体 毒性气体,具有很好的应用价值;采用气体质量流量计控制每一路所需的原料气体的流量,可以控制配制目标组分标准气体的总流量,实现连续配制并供给目标组分标准气体,使用方便、灵敏度高、精度高。
0371-60932951适用于配制高、低浓度的多种目标组分标准气体,甚至包括爆炸性气体 毒性气体,具有很好的应用价值
流量规格(N2) | (0~5,10,20,30,50,100,200,300,500)SCCM (0~1,2,3,5,10,20,30)SLM |
准确度 | ±1.0% S.P . (≥35% F.S.) |
±0.35% F.S. (<35% F.S.) | |
线性 | ±0.5% F.S. |
重复精度 | ±0.2% F.S. |
工作压差范围 | 0.05~0.35Mpa 流量规格≤10SLM |
0.1~0.35Mpa 流量规格>10SLM | |
温度系数 | 零点:≤±0.05FS/℃; 调节时:≤±0.1FS/℃ |
耐压 | 3MPa ≤2sec |
漏率 | 1×10-10pa.m3/sec He |
密封材料 | 氟橡胶; 金属密封 |
工作环境温度 | (5~45) ℃ |
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